◇简介：

旋片式真空泵可以产生高真空，但普遍遇到的问题是因为它采用油密封的原理无法耐具有化学腐蚀性的气体；隔膜真空泵可以抗化学腐蚀，但无法提供高真空度。Chemvac抗化学腐蚀旋片真空泵结合二者的优点，利用旋片泵产生高真空，同时通过内置的抗化学腐蚀隔膜泵把积压在旋片泵压缩阶段的腐蚀性气体抽出，因而可以很大程度上阻止腐蚀性气体进入真空泵油里，极大延长真空泵油的更换时间，显著增加旋片泵的使用寿命，节约使用成本。

◇特点：

· 抗化学腐蚀性气体和水蒸汽。

· 提供高真空，极限真空度可达3×10-3 mbar。