◇简介:
油扩散泵利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气获得高真空,极限真空度可达10-6 mbar,需要配置前级泵,广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油、真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些高真空系统中。
◇特点:
· 大的抽气速率,优化设计极短的时间可达到高真空度。
· 极限真空度可达1×10-6mbar。
· 低的冷却水消耗,节约能源。
◇技术参数:
型号
极限真空度 (mbar)
抽气速率 (L/s)
外形尺寸 (W×D×H)mm
重量(kg)
冷却水消耗量(L/min)
特点
PDM 63
1×10-6
110
220/115/370
PDM 100
210
300/260/450
PDP 63
PDP 100
K系列油扩散泵利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气获得高真空,极限真空度可达10-5Pa,需要配置前级泵,广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油、真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些高真空系统中。
· 抽速大。
· 极限真空度可达5×10-5Pa。
· 结构简单,操作方便,容易维修。
极限压力 (Pa)
前级压力(Pa)
K-100
5×10-5
300
40
K-150
800
K-200
1500
K-300
3300
K-400
5300
K-630
13000
K-800
25000
K-1000
40000
TK系列油扩散泵利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气获得高真空,极限真空度可达10-5Pa,需要配置前级泵,广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油、真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些高真空系统中。
· 抽速大,凸腔结构,腔体外凸增大,因此抽速比K系列高出30%左右。
TK-150
1000
KT-200
2000
TK-300
4000
KT-400
7000
KT-500C
11000
· 系统由K系列油扩散泵、前级旋片泵、阀门、管路、支架等组成。
· 极限真空度可达1×10-4Pa。
· 低的冷却水消耗,节约能源
接口
AK-100
1×10-4
100
AK-150
280
AK-200
420
AK-300
900
AK-400
1800
AK-630
AK-800
6500
· 系统由TK系列油扩散泵、前级旋片泵、阀门、管路、支架等组成。
ATK-100
180
ATK-150
370
ATK-200
600
ATK-300
1400
ATK-400
2500
ATK-500
· 系统由油扩散泵及前级旋片泵组成。
极限真空度(mbar)
DP 63/4DM
300/300/750
DP 100/8DM
350/350/850
DP 63/4DP
DP 100/8DP
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