◇简介:
油扩散泵利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气获得高真空,极限真空度可达10-6 mbar,需要配置前级泵,广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油、真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些高真空系统中。
◇特点:
· 大的抽气速率,优化设计极短的时间可达到高真空度。
· 极限真空度可达1×10-6mbar。
· 低的冷却水消耗,节约能源。
◇技术参数:
型号
极限真空度 (mbar)
抽气速率 (L/s)
外形尺寸 (W×D×H)mm
重量(kg)
冷却水消耗量(L/min)
特点
PDM 63
1×10-6
110
220/115/370
PDM 100
210
300/260/450
PDP 63
PDP 100
· 系统由油扩散泵及前级旋片泵组成。
极限真空度(mbar)
DP 63/4DM
300/300/750
DP 100/8DM
350/350/850
DP 63/4DP
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