SST涡轮分子泵利用高速转动的转子携带气体分子获得超高真空,极限真空度可达10-10 mbar,不能直接对大气排气,需要配置前级泵,广泛应用于表面物理和分析仪器、等离子体物理和空间研究、核聚变反应装置、高能加速器、真空镀膜、真空冶炼、半导体和光学器件制造等需要高真空和超高真空领域。
◇特点:
· 机体整铸的无缝隙转子,使余振动降到极低,同时在高真空端形成快速的抽气。
· 特殊的刀刃设计从而可达到极高的转速和压缩比。
· 前级真空泵只需要达到几个mbar真空度即可。
· 无油,不会产生碳氢化合物。
· 任何操作位置均可。
· 非常安静的运行,产生最小限度的噪音。
· 免维护,经久耐用。
· 体积小,重量轻。
◇技术参数:
极限真空度 (mbar)
抽气速率 N2/He/H2(L/s)
外形尺寸 (W×H)mm
重量(kg)
◇简介:
F系列涡轮分子泵利用高速转动的转子携带气体分子获得超高真空,极限真空度可达10-8Pa,不能直接对大气排气,需要配置前级泵,广泛应用于表面物理和分析仪器、等离子体物理和空间研究、核聚变反应装置、高能加速器、真空镀膜、真空冶炼、半导体和光学器件制造等需要高真空和超高真空领域。
· 理想的动平衡,震动和噪音小。
· 陶瓷轴承使用寿命长。
· 压力10-1~10-8Pa范围内均有恒定的抽速。
· 系统由F系列涡轮分子泵、前级旋片泵或罗茨泵、阀门、管路、支架等组成。
· 系统由SST涡轮分子泵及前级隔膜泵组成,二者通过电磁阀联结在一起,配有冷却风扇。
· 自动开关功能,延长泵的使用寿命,最长可达10,000工作小时。
· 极低的噪音,噪音低于49dB。
· 节省能源。
· 系统由SST涡轮分子泵及前级旋片泵组成,二者通过电磁阀联结在一起。
· 可移动的底座。
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